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【2h】

A High-Temperature Piezoresistive Pressure Sensor with an Integrated Signal-Conditioning Circuit

机译：一种带有集成信号调理电路的高温压阻式压力传感器

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作者
Zong Yao; Ting Liang; Pinggang Jia; Yingping Hong; Lei Qi; Cheng Lei; Bin Zhang; Jijun Xiong;
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年度 2016
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1. Design and development of a piezoresistive pressure sensor on micromachined silicon for high-temperature applications and of a signal-conditioning electronic circuit [J] . D. Crescini, V. Ferrari, Z. K. Vajna, Microsystem technologies . 2003,第6a7期

机译：用于高温应用的微机械硅压阻式压力传感器和信号调节电子电路的设计和开发
2. Passive Resistor Temperature Compensation for a High-Temperature Piezoresistive Pressure Sensor [J] . Zong Yao, Ting Liang, Pinggang Jia, Sensors . 2016,第7期

机译：高温压阻式压力传感器的无源电阻温度补偿
3. High-temperature piezoresistive pressure sensor based on implantation of oxygen into silicon wafer [J] . Li X., Liu Q., Pang S., Sensors and Actuators, A. Physical . 2012,第Null期

机译：基于将氧气注入到硅片中的高温压阻式压力传感器
4. The design of a high-temperature MEMS pressure sensor with integrated temperature compensation and signal-conditioning circuits [C] . Zong Yao, Wang-Wang Li, Di-Ya Zhang, International Conference on Electronics, Electrical Engineering and Information Science . 2017

机译：具有集成温度补偿和信号调节电路的高温MEMS压力传感器的设计
5. Piezoresistive pressure sensor with integrated amplifier realized using metal-induced laterally crystallized polycrystalline silicon. [D] . Li, Gang. 2005

机译：具有集成放大器的压阻式压力传感器，使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
6. A High-Temperature Piezoresistive Pressure Sensor with an Integrated Signal-Conditioning Circuit [O] . Zong Yao, Ting Liang, Pinggang Jia, 2016

机译：带有集成信号调节电路的高温压阻式压力传感器
7. The design of a high-temperature MEMS pressure sensor with integrated temperature compensation and signal-conditioning circuits [O] . Zong Yao, Wang-Wang Li, Di-Ya Zhang, 2017

机译：具有集成温度补偿和信号调节电路的高温MEMS压力传感器的设计
8. Integrated CMOS circuits for piezoresistive pressure sensors with emphasis on thermal sensitivity shift compensation [R] . Gakkestad, J. 1993

机译：用于压阻式压力传感器的集成CmOs电路，重点是热灵敏度偏移补偿

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